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第225章 纵论EUV(上)

“你小子,跟老师说话还这么不着调,小心我期末挂你的科。”周万达是一个好奇心很重的人,现在他询问的问题,没有得到答案,让他百爪挠心一般的难受,忍不住出言威胁了一句。周万达本就是北大集成电路专业的教授,这一学期负责教授乔瑞达他们班的一门专业课。乔瑞达又经常旷课,点名经常不在,如果专业老师以此为理由,让他挂科,谁也挑不出毛病。

听到来自周万达的威胁,乔瑞达立马服软,“别呀,周老师,周教授,你如此宽宏大量的人,怎么能跟我一般见识,让我挂科呢。周老师,你不就是想知道后面那辆车上拉的是什么吗,我这就告诉你,那辆车上拉的是一台EUV光刻机。由于设备太过精密,震动,或者温湿度剧烈变化,都有可能影响它的加工精度,这才在车辆上加装了防震措施,又在集装箱上装了空调,以保障内部环境恒温恒湿度。”

“什么,我没听错吧,你竟然搞来了一台EUV光刻机!这怎么可能呢,连国际光刻机巨头阿斯麦都只有测试样机,没有量产上市的东西,你小子又是怎么搞来的?”乔瑞达说出来的信息太过于震撼,引的坐在后座的周万达惊呼不已,当教授,做科研培养出来的沉稳气质,荡然无存。

“嘿嘿嘿,对不住了周老师,这个EUV光刻机的来源就真的不能对外说,否则将供货渠道暴露出来,下次就再也拿不到货了。你也是搞芯片的,应该清楚,这些高端光刻机,对咱们华夏大陆都是禁运的。”其实这台EUV光刻机是乔瑞达通过金手指复制出来的,来源本就见不得光,这会儿被周万达问起来,只能编出一个神秘的供货商来,应付一二了。

“原来是这样,要说你小子也真是厉害,还在测试阶段的新设备,都能搞出来。渠道的事儿,我就不问了,你看能不能通过你的关系,给北大芯片实验室也搞一台EUV光刻机,要多少钱你随便开。”周万达搓搓手,一脸期待的看向正在开车的乔瑞达。

作为一名芯片制程工艺研究员,周万达太清楚EUV光刻机的威力了。当前市面上主流的浸润式DUV光刻机,常规加工精度是28nm。即使使用套刻、多次曝光等工艺,DUV光刻机的加工精度最多提升到7nm,而且会存在步骤繁琐、加工难度大、良品率低等诸多的缺点。如果有了EUV光刻机,那就完全不同了,EUV由于采用了极紫外光对硅晶圆进行加工,可以把加工精度做到很小,起步就是7nm,具有加工速度快、良品率高、等优点,生产出来的芯片,性能强大,发热低。后续采用一些其他工艺,还能加工出5nm、3nm,甚至2nm的芯片,绝对是未来芯片加工的发展方向。

“咦,周老师,你又没见到EUV光刻机的实物,也没进行过任何测试,为何会如此看好这台光刻机,不惜重金也要买一台?”这个型号的EUV光刻机的性能,乔瑞达在次元空间内做过测试,这才知道它的厉害。周万达又没做过测试,甚至连这台EUV光刻机的样子都没见过,就如此果断的要花钱求购,当真奇怪。

周万达嘿嘿一笑,说出了一些乔瑞达不知道的内幕消息,“嘿嘿,这不是见猎心喜吗,EUV光刻机,多么高大上的设备,全世界,只有阿斯麦公司能生产,而且只有几台样机,尚未量产交付。如果咱们北大的芯片实验室能够搞到一台,即使不能用于芯片的量产,只用来搞一下尖端芯片的流片测试,和7nm以下芯片加工工艺的摸索,也是赚大了。

咱们北大芯片实验室内,那套芯片生产线你也见过,都是五年前的老家伙了,即使我们做了不少的改造升级,生产40nm芯片,已经是它的极限了,在也没有什么潜力可挖。而且存在着生产成本过高,合格率低下等诸多缺陷。早在去年的时候,我和老师,参加了你们瑞达电子厂芯片生产线的安装和调试工作,当时看到你们那套浸润式DUV光刻机、和配套生产线,我们就羡慕的不行。回到学校之后,我老师就打报告上去,申请经费,对芯片实验室的生产线,进行更新换代。

奈何此次设备升级,需要的费用太大,一些核心的设备还不太好买,那份申请报告在上级机构那里卡了一年,最近才批复下来。本来这次跟你一起来德诚市,就想着拜托你帮忙采购几台DUV光刻机和刻蚀设备,没成想更先进的EUV光刻机你小子都搞得来。有EUV在,谁还要落后的DUV呀,你说是不是。”

“原来如此,帮你搞一台EUV光刻机也不是不行,不过这东西的价格可不便宜,你要做好准备,我也不知道你们实验室有没有这么多钱。”乔瑞达沉吟一番,最终还是给出了一个肯定的答复。国内做芯片设计的公司和科研院所很少,搞先进芯片制程工艺研发的单位就更少了。随着瑞芯晶圆厂的建立,对芯片合格率的提升,和对先进制程工艺的追逐,就不会停止。到时候和北大芯片实验室的合作会很多,同时北大也能为瑞芯晶圆厂提供大量芯片领域的高端人才。现在冒着金手指曝光的危险,卖给他们一台EUV光刻机,也算是提前投资,支持母校了。

“国际上最先进的DUV光刻机售价就要五六个亿,难道EUV光刻机的售价更贵?”说到价格,周万达的心里就真的没底了,毕竟上面批下来的资金有限,他也不知能能不能买的起EUV光刻机。

“你这话说的,多新鲜呐,生产28nm芯片的DUV光刻机的售价都要6万左右。可以生产7nm芯片的EUV光刻机,卖的比DUV光刻机价格更贵一些,不是很正常吗。我也不瞒你,后面货车上这台EUV光刻机,是我花费10亿买回来的,这还没算上渠道费用和运费。”

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