在此期间,在周万达的一再邀请下,王成业院士将手头的工作,交给了学生,也来到了吊装现场。
“我说小周,你这么急吼吼的把我喊过来,不会就为了让我看这两台吊车吊装设备吧?同样的场景,我这些日子天天看,已经不新鲜了。”
“嘿嘿,老师,我让你看的可不是这些普通设备,真正的惊喜在车间里面呢。走,咱们去换无尘服,进车间去揭晓答案,看到它,保证让你大吃一惊。”周万达也没有揭晓最终答案,毕竟说出来,就不叫惊喜了。
打发走车队和吊车之后,乔瑞达和林孟松也换上无尘服,进入了车间。
王成业院士,围着一个乳白色的集装箱,转了好几圈,这才停下,好奇的询问道:“看这集装箱的尺寸和外部设备,里面装的是光刻机吧?不过这体积是不是太大了一些,比隔壁厂房那台最先进的DUV光刻机还要打不少。”
“嘿嘿,老师,您老真是慧眼如炬,这个集装箱里面,装的确实是光刻机,不过具体型号,我就不提前透露了。等过一会儿,环境调节到位,咱们亲自上手,打开它。”周万达抚摸着面前的集装箱,眼神格外灼热。虽然从乔瑞达那里知道了这个集装箱里,装的是EUV光刻机,但成熟的EUV光刻机到底长得什么样,和阿斯麦公司公开展示的样子是否一致,他依旧充满了好奇。
乔瑞达和林孟松二人是最后进入车间的的,此时安装在车间顶层的大型除尘和空调设备,已经工作了好长一段时间,车间内的环境已经基本达到了无尘,和恒温恒湿要求。王院士和周万达,已经指挥着一众工程师,上手拆卸集装箱了。
有道是人多力量大,上百名工程师,拿着各种工具,一起动手,几个整体吊装进来的集装箱,全部打开,里面的设备,揭开了神秘的面纱,展现在了大家的面前。看到第一台设备,大家就齐齐倒抽一口凉气,为全球变暖做出了一份卓越的贡献。
“Extreme Ultra-violet,极紫外光刻机,嘶——你确定这个没标错,国内真的能买的到极紫外光刻机。”
“应该是EUV光刻机没错了,看这尺寸,看这体积,比DUV光刻机大太多了。再来看看这反射镜,看看这复杂的光路,绝对是EUV光刻机没跑了。”
“要说还是咱们乔总神通广大,连阿斯麦尚未量产的设备,都能搞得到,真是太厉害了。”
“这台光刻机的工件台也太大了吧,难道是为了加工12英寸晶圆设计的?”
“很有可能呀,其实不止是光刻机的工件台大,后面的几台设备,放置晶圆的平台,同样很大。我猜测,这整条芯片生产线,很可能就是按照加工12寸晶圆设计的。”
“看来以后的晶圆加工厂,使用12寸晶圆将成为主流,毕竟使用12寸晶圆单颗芯片的成本更低,加工速度更快,效率更高。”
“咱们国内还没有工厂能生产12寸硅晶圆吧,等这条生产线开起来,晶圆片难道全部从国外进口,那生产成本可高到天上去了。”
“成本高一点也不怕,EUV光刻机的加工精度比DUV可高多了,加工费用自然也要水涨船高。只要咱们这条生产线能够量产,就是全球独一份,害怕赚不到钱。”
“听说EUV光刻机的加工精度,起步就是7NM,现在咱们有了EUV光刻机,那岂不是可以加工制作7nm芯片了。”
“生产7nm芯片,可不是换一台光刻机就完事儿的,还需要配套的耗材和刻蚀机,离子注入机等设备。而且EUV光刻的加工步骤,和DUV光刻的加工步骤完全不同,还需要咱们慢慢的摸索,才能逐步掌握。想要批量生产7nm的芯片,至少也是几个月之后的事情了。”
“咦,难道你们就没发现,这台EUV光刻机上,没有标注任何的品牌和生产厂家信息,生产日期也没有,各种按钮上的标注还是中英文对照的,难道这台设备,并不是阿斯麦生产的?”
“应该不能吧,从业内公开的信息来看,目前全球范围内,掌握EUV光刻机生产技术的,就只有阿斯麦一家。”
“我刚刚特意看过了,不光是光刻机没有品牌和生产厂家标识,其它设备上,同样没有这些。”
“也就是说,这些设备,全部是三无产品,那质量能靠谱吗,咱们老板不会被人坑了吧。”
“应该不会,可能是设备太先进,担心惹麻烦,故意把品牌、生产厂家,生产日期等信息抹去的。”
无尘车间内,一百多名工程师,围着一台EUV光刻机,指指点点,议论纷纷,那表情,或狂热,或疑惑,或质疑,或两眼放光,不一而足。其实这套芯片生产线上的所有设备,和次元空间内的那套设备一样,皆是复制自十年后,品牌、生产厂家、生产日期什么的,和现在的品牌、厂家、日期根本对不上号,为了避免麻烦,复制的时候,乔瑞达故意把这些信息抹去了。与此同时,乔瑞达还对产品包装、使用说明、维护手册等东西,进行了深入的修改,所有和年代日期有关的东西,全部被他删掉了。如此一番操作后,任谁也发现不了,这些设备的真实来源。
乔瑞达拍拍手,吸引了大家的注意力之后,说道:“时间宝贵,大家就不要在这里做一些无异议的讨论了,下面我进行一下简单分工,王院士、周老师、林总工,和我一起安装这台EUV光刻机,一组负责安装天车,二组负责安装旋涂机、清洗机,和刻蚀机……”
随着乔瑞达一声令下,围聚在一起的工程师们,快速分开,按照小组为单位,彼此分工合作,忙碌起来。震惊过后的王院士,走到乔瑞达的身边,朝他伸出一个大拇指,说道:“乔同学,你是真的牛,连严格禁运的EUV光刻机都能搞的来,买这台大家伙,花了不少钱吧?”
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